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技術(shù)文章

光學(xué)式膜厚計(jì)概述-朝日分光OMD-1000

什么是OMD-1000?

這是一臺(tái)光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀,用于監(jiān)測(cè)在用單色光進(jìn)行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中,并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成,該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。 

 

概述

全波長范圍

在傳統(tǒng)型號(hào)中,波長選擇是濾光片類型,但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們久經(jīng)考驗(yàn)的光譜儀,現(xiàn)在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號(hào)是從電壓輸出到與個(gè)人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出,控制機(jī)制是從手動(dòng)操作到個(gè)人計(jì)算機(jī)的命令控制。此外,通過將薄膜厚度計(jì)主體通過I / F直接連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)來控制其厚度成為可能,這是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng),無需像其他制造商那樣的控制器。

特征

  • 分光鏡設(shè)計(jì)緊湊
  • 通過提高抗噪聲性(靜電放電測(cè)試耐受電壓±5 kV)實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
  • 可以通過PC的命令自動(dòng)控制
  • 通過將控制器合并到接收器主體中來實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比

車身配置和接線

產(chǎn)品概要

它連接到氣相沉積設(shè)備上,以監(jiān)控薄膜厚度??梢匀缬覉D所示進(jìn)行安裝。

反射型監(jiān)視

透射式監(jiān)控
(彎曲探照燈)

透射式監(jiān)控
(直接連接到泛光燈)

商品構(gòu)成

接收者

泛光燈

電源箱

高架法蘭
*包含在反光鏡盒中


反光鏡盒


透射鏡盒

■產(chǎn)品規(guī)格

型式OMD-1000
光譜儀類型Zellny Turner類型單單色
波長范圍保證范圍:380至900 nm可操作
范圍:350至1100 nm
波長分解能狹縫0.5mm:4.2nm [546nm]
狹縫1.0mm:8.3nm [546nm]
波長精度±1.0納米
小波長進(jìn)給0.1納米
外部控制RS232C
外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
采樣間隔100ms以上
靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/td>±5kV(實(shí)際8kV)
光源12V100W鹵素?zé)?/td>
光強(qiáng)度穩(wěn)定性±0.1%/h 以下
輸入電壓AC100V 50/60赫茲
允許輸入電壓AC85?132V
視在功率340VA以下
使用環(huán)境溫度 10~35℃
濕度 20~80%

*請(qǐng)注意,產(chǎn)品規(guī)格和外觀如有更改,恕不另行通知。

聯(lián)系人:林經(jīng)理
地址:深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
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