用于高純度氣體的e-flow壓力調節(jié)器設計用于半導體工廠，具有更高的純度和最小的外部泄漏，顆粒和死區(qū)。
它用于半導體工廠設施（設備）的鋼瓶柜、連接件、閥箱和設備制造商的集成單元的各種氣體。
由于它是一種密封產品，因此非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性和氣體。

用于高純度氣體的壓力調節(jié)器陣容

L系列：接頭對焊規(guī)范、外密封金屬結構產品。
R系列; 本產品具有旋入式（NPT）規(guī)格和外部軟密封結構。 焊接規(guī)范是插入焊接。
D系列：帶先導結構的電子控制壓力調節(jié)器，將L和R系列與壓力控制單元相結合。
U系列; 主體采用特殊規(guī)格、對焊規(guī)格加工，外封為金屬密封結構。

關于潮汐式和自由式調節(jié)閥

我們的標準規(guī)格是自由提升閥芯法，但海外制造商使用潮汐隔膜式結構的情況很多。 根據結構的不同，各有利弊，但對于高純度支架，由于在氣密性檢查期間無死區(qū)和無手柄操作的想法，自由型是標準配置。